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透射电镜样品杆清洗仪

  • 型   号:SPC 150
  • 价   格:

透射电镜样品杆清洗仪德国莱宝涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的< 5*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 透射电镜样品杆的真空检漏和等离子体清洗用途。采用远程ICP 射频离子源清洗,高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器,触摸屏控制,即插即用。

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透射电镜样品杆清洗仪德国莱宝涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的< 5*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 透射电镜样品杆的真空检漏和等离子体清洗用途。采用远程ICP 射频离子源清洗,高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器,触摸屏控制,即插即用。
透射电镜样品杆清洗仪技术规格

技术规格 参数
泵组 德国莱宝涡轮分子泵 90iX+隔膜泵DIVAC0.8T
分子泵入口法兰 DN 63 ISO -K (标准)
分子泵抽速 90 L/s (N2)
前级泵 ~15 L/Min
极限真空 <3*10-6 Torr
泵组启动时间 <200 s
TEM样品杆配件 适用于FEI、JOEL等品牌样品杆可选
样品腔室尺寸 ~Ø 150 *140 mm, 其他尺寸可定制可以放置zui多3路TEM hoder
等离子体清洗源 远程ICP 射频源原理,手动匹配
清洗电源功率 13.56 MHz RF电源,5-50W 可调
清洗气体控制 标配外接2路MFC流量计控制,可以外接如Ar或O2等清洗气体
真空规 德国Leybold Vacuum全量程复合规
操作方式 三菱触摸屏控制
重量 ~30 kg
尺寸 ~500 mm长*450 mm宽*500 mm高
电源 220V AC,50/60Hz 接地三脚插头
功耗 ~400 W
冷却方式 风冷
质量保证 一年免费/终身维护
备注 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知,如有疑问请

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